18兆歐超純水設備處理工藝介紹：通常應用于電子、高新材料、集成電路、硅晶片、電子元件生產沖洗用水，一般由進水預處理裝置、RO反滲透除鹽裝置、超純化處理裝置三部分組成。預處理的目的進水符合RO進水要求，主要指標為：濁度、污染指數、氧化還原電位等；RO反滲透膜是主要的去離子工序，基本去除99%的離子雜質；超純化后處理（EDI或離子交換）進一步去除水中的微小離子，以滿足不同用途的*終水質指標要求。

主要單元處理工藝介紹：

RO反滲透純化系統

 反滲透（Reverse Osmosis，簡稱RO）是以壓力差為推動力的一種高新膜分離技術，具有一次分離度高、無相變、簡單高效的特點。反滲透膜“孔徑”已小至納米（1nm=10-9m），在掃描電鏡下無法看到表面任何“過濾”小孔。在高于原水滲透壓的操作壓力下，水分子可反滲透通過RO半透膜，產出純水，而原水中的大量無機離子、有機物、膠體、微生物、熱原等被RO膜截留。

EDI連續除鹽裝置

連續電去離子EDI（Electrodeionization的縮寫），是利用混床離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下分別透過陰陽離子交換膜而被連續去除的過程。這一新技術可以代替傳統的離子交換（DI），產出15MΩ.cm以上的超純水。EDI深度除鹽的*大優點是可長期穩定運行，無需用酸堿再生陰陽樹脂，自動化程度高、占地面積小、出水水質高等特點。

拋光樹脂交換純化柱

拋光樹脂一般用于超純水處理系統末端，來保證系統出水水質能夠維持用水標準，一般出水水質都能達到18兆歐以上，并對TOC、SIO2都有一定的控制能力，拋光樹脂出廠的離子型態都是H、OH型，在拋光樹脂中被交換出來的H＋和OH－結合生成H2O，因此混床離子交換純化柱可用來深度去除純水中尚存的微量離子，其產水電阻率可達18.2MΩ.cm。